真空泵機組一般由下列元件構(gòu)成：各種真空泵；真空測量裝置；真空閥門；真空管道和一些其它元件，例如撲集器、真空接頭、儲氣罐、波紋管、除塵器和真空繼電器等。
按機組的工作壓力分，有粗真空泵機組(>1330Pa)；低真空泵機組(1330~0.13Pa)；高真空泵機組(0.13~1.3×10-6 Pa)；超高真空泵機組(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；極高真空泵機組(<1.2×10-11 Pa)。
用于較高真空的羅茨真空泵(機械增壓泵)不能直排大氣，如直排大氣會造成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過載，如單純加大羅茨真空泵電機功率又會造成羅茨真空泵過熱以致羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的微小間隙很快因熱膨脹而卡死。為保證羅茨真空泵能達(dá)到較高真空必須保證羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。所以羅茨真空泵使用時必須設(shè)有前級泵，用前級泵將系統(tǒng)內(nèi)壓力抽至一定范圍內(nèi)時再啟動羅茨真空泵，如此可以避免羅茨真空泵過載。前級泵可以選用水(液)環(huán)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復(fù)式真空泵等可直排大氣的真空泵。
羅茨真空泵機組在一般情況下，選用水環(huán)泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它能夠抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當(dāng)氣鎮(zhèn)油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時候更為明顯。
低真空泵機組的主要特點是工作壓力高，排氣量大，但抽速比高真空泵機組低。多用于真空室的粗抽以及放氣量很大，工作壓力較高的真空輸送、真空浸漬、真空過慮、真空脫氣、真空干燥等裝置中。低真空泵機組的主泵常用往復(fù)式真空泵、油封真空泵、水噴射泵、水蒸汽噴射泵、水環(huán)泵、油蒸汽噴射泵、分子篩吸附泵和羅茨泵等。使用低真空泵機組，還需要根據(jù)被抽氣體的清潔程度、濕度等工藝要求，配置除塵器、干燥過慮器等元件。例如我廠生產(chǎn)的JZJB,JZJ2B,JZJS等羅茨水環(huán)真空泵機組
高真空泵機組例如JZJX,JZJP型羅茨旋片真空泵機組等。
①選好主泵，主泵有擴散泵、分子泵、濺射離子泵、鈦泵、低溫泵等。
②選好預(yù)抽泵、儲氣管(防震、縮短工作周期、防止真空室內(nèi)瞬間大量放氣、穩(wěn)定擴散泵出口壓力)
超高真空泵機組
主泵極限真空度要高、漏氣率要低、耐200~450℃烘烤。
�、贁U散泵機組：降低返流、控制污染;
�、诜肿颖脵C組：對氫壓縮比小，殘余氣體主要是氫;
③濺射離子泵機組：通常與鈦泵聯(lián)合使用;
�、艿蜏乇脵C組：無污染。
因超高真空泵機組造價成本較高，組裝構(gòu)造構(gòu)成較嚴(yán)格，現(xiàn)逐漸被羅茨旋片真空泵機組所取代。但是在極其嚴(yán)格的工作環(huán)境要求下還是又一定量的需求。
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